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激光直接成像五轴平台:

五轴精密度运动台,为激光直接成像(LDI)设备专业定制,满足高速、高加速、高精度的产品定制需求。
五轴工作台, 下面3轴用作产品定位运动,其中Z轴使用伺服电机传动做上下位置调整,横梁双动子轴安装相机做产品位置标定及补正。

 

双工位玻璃切割八轴平台:

双工位玻璃切割八轴平台,为玻璃激光切割设备专业定制,满足高速、高加速、高精度的产品定制需求。
Y轴用作产品定位运动,横梁双动子X轴安装相机做产品位置标定及补正,横梁背面X轴固定激光器,用作玻璃切割。

 

高精密四轴线轨运动平台:

四轴精密度线轨运动台,满足高速、高加速、高精度的产品定制需求,适用于OLED加工、玻璃面板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等高端制造行业。
X、Y、Z、θ工作台, θ直驱电机驱动可实现360°旋转,Z轴布置于平台大理石横梁,直线电机驱动垂向运动;配套平衡气缸支撑,防止断电掉落;

 

双Z轴6轴线轨高精密运动台:

六轴精密运动台,满足高速度、高加速度、高精度的产品定制需求。适用于玻璃薄片检测、玻璃切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等高端制造业。
X、Y、θ1、θ2、Z1、Z2,直驱电机驱动,保证高速度高加速度和亚微米级精度。XY直线电机驱动,θ1、θ2直驱DD马达驱动,Z1、Z2直线电机驱动配备平衡气缸,断电保护。

 

双轴线轨运动平台:

满足高速高精度产品的定制需求,适用于光刻,薄片检测,CCD成像,三维成像等。
交叉滚珠导轨,低摩擦,高刚性,可做超高定位精度。



 

双轴线轨高精密运动台:

双轴精密运动台,满足高速度,高加速度,高精度的产品定制需求,适用于玻璃薄片检测、LED封装检测、激光加工、屏幕检测,CCD成像,晶圆检测,三维形貌等高端制造业。
高精度直线导轨:高刚性基台配合高刚性直线导轨,可保证产品长期稳定的精度;模块化线缆管理:模块化的线缆管理大大提高系统的维护性和可靠性,方便用户管理线缆。



 

三轴线轨高精密运动台:

三轴精密运动台,满足高速定位抖动、高加速、高精度的产品定制需求,适用于生物基因测序、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等高端行业。

 

中空双轴线轨高精密运动台:

中空双轴精密运动台,满足高速度,高加速度,高精密的产品定制需求,适用于LED封装检测、激光加工、屏幕检测、CCD成像、三维形貌等高端制造业。

 

三轴龙门高精密线轨运动台:

满足高速高精度产品的定制需求,适用于激光加工,CCD成像,晶圆检测等。





 

气浮超精密平台:

大理石气浮平台基于空气轴承的基本原理,实现无摩擦和无振动的平滑移动,大理石平台它具有运动精度高清洁无污染等特点,同时还具有误差均化作用因而可用比较低的制造精度来获得较高的导向精度。
主要面向高分辨率光学检测、高端激光加工等行业,为行业提供高精度、高动态性能的运动系统解决方案
高稳定性大理石基台 
分辨率:可达1纳米 
重复定位精度:优于0.5微米 
直线度/平面度:优于1微米 

                

面板加工十五轴平台:
面板加工十五轴精密度运动台,为玻璃面板行业专业定制,用作玻璃面板的电路电极外接模块组装生产设备,

满足高速、高加速、高精度的产品定制需求。内部X、Y轴为玻璃面板加工动作区域, 两侧横梁长达4米的直线电机搬运玻璃面板在各工站切换。

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